Superpolitur

Innovativer Fertigungsprozess für superpolierte Substrate

Die LensTec Jena GmbH arbeitet als Innovationspartner eng mit verschiedenen Forschungsinstituten zusammen, um neue Fertigungstechniken, Materialien oder Einsatzgebiete zu erschließen. So wurde im Rahmen eines aktuellen Forschungsprojekts namens SuPol, gefördert durch die Thüringer Aufbaubank, ein technologischer Fertigungsprozess für superpolierte Substrate erarbeitet. Mithilfe dieser Herstellungsmethode können Oberflächen mit Rauheiten < 0.25 nm im hoch- bis mittleren Ortsfrequenzbereich realisiert werden.

Die Auswahl an möglichen Superpolituren ist groß: Plansubstrate sowie sphärische Linsen und Zylinderlinsen (von plan-konvex/-konkav über bi-konvex/-konkav bis zu konvex-konkav und konkav-konvex (Meniskuslinse)) sind genauso verfügbar wie viele andere Materialien. Insbesondere für Quarzglas ist der Prozess für Superpolituren aktuell optimiert. Eine Übertragung auf weitere Materialien, wie beispielsweise Silizium, sind jedoch ebenfalls möglich. Zudem können verschiedene geometrische Maße sowie weitere Spezifikationen und Kundenwünsche berücksichtigt werden. Die Oberflächenrauheit wird dabei prozessbegleitend am Fraunhofer IOF untersucht. Dies dient einerseits dem Nachweis der tatsächlichen Realisierung der geforderten Rauheitseigenschaften sowie der stetigen Weiterentwicklung der vorhandenen Technologie.


genaue Herstellung
Herstellung von Substraten mit extrem geringen Oberflächenrauheiten (rms-Rauheit