Superpolitur

Innovativer Fertigungsprozess für superpolierte Substrate

Die LensTec Jena GmbH arbeitet als Innovationspartner eng mit verschiedenen Forschungsinstituten zusammen, um neue Fertigungstechniken, Materialien oder Einsatzgebiete zu erschließen. So wurde im Rahmen eines aktuellen Forschungsprojekts namens SuPol, gefördert durch die Thüringer Aufbaubank, ein technologischer Fertigungsprozess für superpolierte Substrate erarbeitet. Mithilfe dieser Herstellungsmethode können Oberflächen mit Rauheiten < 0.25 nm im hoch- bis mittleren Ortsfrequenzbereich realisiert werden. Die Auswahl an möglichen Superpolituren ist groß: Plansubstrate sowie sphärische Linsen und Zylinderlinsen (von plan-konvex/-konkav über bi-konvex/-konkav bis zu konvex-konkav und konkav-konvex (Meniskuslinse)) sind genauso verfügbar wie viele andere Materialien. Insbesondere für Quarzglas ist der Prozess für Superpolituren aktuell optimiert. Eine Übertragung auf weitere Materialien, wie beispielsweise Silizium, sind jedoch ebenfalls möglich. Zudem können verschiedene geometrische Maße sowie weitere Spezifikationen und Kundenwünsche berücksichtigt werden. Die Oberflächenrauheit wird dabei prozessbegleitend am Fraunhofer IOF untersucht. Dies dient einerseits dem Nachweis der tatsächlichen Realisierung der geforderten Rauheitseigenschaften sowie der stetigen Weiterentwicklung der vorhandenen Technologie.

unterschiedliche Substrate
genaue Herstellung
Kombinationen möglich

FAQ zu Superpolituren

Das Einsatzgebiet der innovativen Superpolituren ist breit gefächert. Das Hauptaugenmerk liegt jedoch bei der Beschichtung von Hochleistungskomponenten. Diese wiederum kommen unter anderem in der EUV – Lithografie, der Laser- und Messtechnik sowie in der Luft- und Raumfahrt zur Anwendung.

Genauso wie unsere anderen Optiken realisieren wir auch unsere Superpolituren mit unterschiedlichen Oberflächenspezifikationen und zugehörigen Toleranzen. Hier sind unter anderem geometrische Maße, Radien, Formen und Sauberkeit zu benennen. Darüber hinaus garantieren wir die Angabe exakter Werte bezüglich der Ausführung und der Applikation der optischen Linsen (siehe Planoptik und Zylinderoptik). Ein weiteres wichtiges Qualitätsmerkmal stellt die sorgfältig dokumentierte Kontrolle des gesamten Fertigungsprozesses mithilfe der erforderlichen Messverfahren und -geräte in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IOF dar.

Für die Herstellung von Superpolituren dienen ausschließlich Materialien von qualifizierten Lieferanten als Basis. Für gewöhnlich kommen synthetische Quarzgläser zum Einsatz. Als Sondermaterial kann außerdem Silizium gewählt werden. Darüber hinaus sind auf Anfrage auch Übertragungen auf andere Materialien möglich.